Tính năng
Chương trình hướng dẫn từ thao tác đưa mẫu đến việc quan sát tự động "Specimen Exchange Navi"
1. Thực hiện theo chức năng NAVI để đặt mẫu cần đo
2. Chuẩn bị quan sát trong quá trình hút chân không
3. Bắt đầu quan sát một cách tự động
Phóng to ảnh quang học chuyển qua ảnh SEM với chức năng "Zeromag"
Chức năng Zeromag đơn giản hóa việc điều hướng, cung cấp quá trình chuyển đổi liền mạch từ hình ảnh quang học* sang hình ảnh SEM.
SEM, hình ảnh quang học và đồ họa giá đỡ đều được liên kết để có cái nhìn tổng thể về các vị trí phân tích.
Đầu đo EDS cho phép quan sát thành phần nguyên tốc phân bố tên mẫu theo thời gian thực * "Live Analysis"
Live Analysis là một chức năng hiển thị phổ EDS hoặc bản đồ thành phần trong Thời gian thực trong quá trình quan sát hình ảnh. Chức năng này có thể hỗ trợ tìm kiếm và cung cấp cảnh báo cho các phần tử mục tiêu.
Tự động hóa để nâng cao hiệu suất "Simple SEM"
Simple SEM tự động hóa việc thu thập hình ảnh ở nhiều vị trí, điều kiện và độ phóng đại.
Tools for speed
Stage with high position accuracy. Relocate analysis positions with accuracy.
Đầu do EDS 60 mm2 EDS
Giúp phân tích nhanh hơn
Phân tích nhanh hơn
Đầu dò 60 mm2 EDS có thể đạt được chất lượng tương tự trong thời gian ngắn hơn nhiều so với các máy dò diện tích nhỏ hơn. Phân tích đa điểm cũng có thể được thực hiện hiệu quả hơn.
Ứng dụng cho các mẫu nhạy cảm với nhiệt
Fast, clear element maps