Hệ thống kính hiển vi điện tử quét để bàn
Thông số kỹ thuật:
Thế gia tốc
- 5, 10, 15 kV (3-bước được chuyển đổi từ giao diện người dùng)
Tín hiệu
- Chế độ chân không cao:
+ Ảnh điện tử thứ cấp (SEI)
+ Ảnh điện tử tán xạ ngược (BEI)
- Chế độ chân không thấp:
+ Ảnh điện tử tán xạ ngược (BEI)
Độ phóng đại
- Độ phóng đại: lên đến 100.000 lần
- Độ phóng đại hiển thị: x24 đến 202,168 lần
Hệ thống quang điện tử
Súng điện tử
- Thế gia tốc: 5, 10, 15kV
- Cuộn quét điều chỉnh súng: điều chỉnh điện từ 2 tầng (stage)
- Chế độ ngăn chùm tia (Beam blanking): tránh mẫu bị phá hủy
- Hiệu chỉnh trục: Lệch điện từ 2 giai đoạn
Bệ mẫu
- Phương thức di chuyển mẫu: Tự động theo trục X-Y
- Dải di chuyển mẫu: X: 40 mm; Y: 40 mm
Hệ thống hiển thị
- Hiển thị: Màn hình cảm ứng 23,8" inch
- Độ phân giải: 1920 x 1080
Chức năng xử lý ảnh
Chức năng đo đạc
- Đo đa điểm: đo khoảng cách từ 2 điểm bất kỳ
- Đo góc: Đo góc giữa hai đoạn đường được mở rộng từ điểm trung tâm.
Hiển thị dữ liệu:
- Vùng hiển thị dữ liệu: phía dưới của ảnh
- Thông tin hiển thị: Tín hiệu, thế gia tốc, khoảng cách làm việc, Chế độ dòng, Chế độ chân không, độ phóng đại, thanh micron, chế độ quan sát, số hình ảnh, ngày tháng, ghi chú, logo hình ảnh
- Định dạng lưu ảnh: BMP, TIFF, JPEG hoặc PNG
- Định dạng lưu Video: Có thể lưu dạng AVI
Hệ thống bơm
- Phương pháp điều khiển: hoàn toàn tự động
- Chọn chân không cao/thấp: chọn từ màn hình GUI hoặc từ nút bấm trên thân máy