Kính hiển vi điện tử quét (SEM) (dùng cho mẫu lớn) - JSM-IT510 - JEOL

Kính hiển vi điện tử quét (SEM) (dùng cho mẫu lớn) - JSM-IT510 - JEOL

Kính hiển vi điện tử quét (SEM) (dùng cho mẫu lớn) - JSM-IT510 - JEOL

Model:
JSM-IT510
Hãng sản xuất:
JEOL
Xuất xứ:
Japan

Danh mục:
Lượt xem:
1583

Giới thiệu
Thông số kỹ thuật
Ứng dụng và tiêu chuẩn
video
Tài liệu

- Dòng sản phẩm kính hiển vi điện tử quét (SEM) dễ dàng sử dụng và có khả năng mở rộng.
- Phần mềm tích hợp tính năng điều khiển cảm ứng đa chạm giúp việc vận hành hiệu quả và thân thiện với người sử dụng
- Buồng mẫu lớn và chính tâm (eucentric) giúp điều khiển mẫu dễ dàng khi làm việc với các mẫu vật lớn hay với cả các phòng thí nghiệm có lượng mẫu lớn.
- Hệ quang điện tử cao cấp kết hợp với đầu đo độ nhạy cao khiến dòng sản phẩm này là sự lựa chọn lý tưởng để quan sát nhiều loại mẫu vật khác nhau.
- Kính có 2 chế độ: Chân không thấp và chân không cao.
+ Ở chế độ chân không cao: có thể chụp ảnh tốt các mẫu vật dẫn điện. Đối với các mẫu vật không dẫn điện, để chụp ảnh mẫu vật cần phải được phủ lớp dẫn mỏng hoặc chụp với thế gia tốc thấp (bước thế có thể điều chỉnh từ 0,5-30kv).
+ Ở chế độ chân không thấp: có thể chụp các mẫu vật không dẫn điện mà không cần lớp phủ.
- Việc chuyển đổi giữa hai chế độ chân không thấp và chân không cao được thực hiện dễ dàng nhờ giao diện đồ họa người dùng hoặc bảng điều khiển chính.
- Màn hình sử dụng công nghệ đa chạm (multi-touch).
- Tích hợp chức năng thao tác nhanh: có camera quan sát trong buồng mẫu, được tích hợp công nghệ chuyển đổi hình ảnh và thao tác đo mẫu trực quan từ ảnh thực sang ảnh điện tử quét.
- Tích hợp công nghệ phân tích liên tục đồng thời hình ảnh SEM với detector EDS thuận tiện cho việc khảo sát khu vực cần phân tích và tăng độ chính xác cho kỹ thuật phân tích.
- Có chức năng ghi hình quá trình đo mẫu và điều kiện đo để mô phỏng phân tích sau.
- Có chức năng lưu liên tục kết quả đo mẫu cho phép sử dụng và phân tích lại.

Hệ thống kính hiển vi điện tử quét
Thông số kỹ thuật chính:
+ Độ phân giải:
Chế độ chân không cao (H-Vac)
Độ phân giải (SEI - điện tử thứ cấp):
- 3.0 nm (điện thế gia tốc 30 kV), khoảng cách làm việc 5 mm
- 8.0 nm (điện thế gia tốc 3 kV), khoảng cách làm việc 5 mm
- 15.0 nm (điện thế gia tốc 1 kV), khoảng cách làm việc 10 mm
Chế độ điện thế thấp này chỉ có JEOL đảm bảo tính năng, đặc biệt thích hợp để đo các mẫu không dẫn điện, dễ hỏng khi đo ở thế gia tốc cao hơn
Chế độ chân không thấp (V-Vac)
Độ phân giải (BEI - điện tử tán xạ ngược):
- 4.0 nm (điện thế gia tốc 30 kV), khoảng cách làm việc 5 mm
Chế độ này để đo các mẫu không dẫn điện, đảm bảo giảm tối thiểu hiện tượng nhiễm bẩn do vết hơi nước, vết hợp chất hữu cơ trong không khí, các chất hữu cơ trên bề mặt mẫu bay hơi và đọng trên buồng mẫu, cột súng điện tử, các bộ khẩu độ (lens and apertures)
+ Tín hiệu hình ảnh:
Từ các đầu dò điện tử thứ cấp và đầu dò điện tử tán xạ ngược, trong các chế độ đo khác nhau ta có thể có các tín hiệu ảnh khác nhau như :
Chế độ chân không cao (H-Vac)
- Hình ảnh điện tử thứ cấp (SEI)
- Hình ảnh điện tử tán xạ ngược (BEI)
Chế độ chân không thấp (L-Vac)
- Hình ảnh điện tử tán xạ ngược (BEI)
- Ảnh điện tử tán xạ thứ cấp (SEI)
+ Độ phóng đại:
- Độ phóng đại: 5 lần đến 300.000 lần
- Độ phóng đại ở chế độ Digital zoom, độ phóng đại màn hình tối đa lên đến 839.724 lần
Bệ mẫu:
- Phương pháp di chuyển bệ mẫu: theo 5 trục (X, Y, Z, T, R), điều khiển bằng động cơ và tự động từ máy tính.
- Kích thước mẫu lớn nhất: đường kính 200 mm, chiều cao 80 mm
- Khối lượng mẫu tối đa: 2 kg
Cổng kết nối với buồng mẫu:
- Cổng phổ tán xạ năng lượng (EDX)
- Cổng điện tử tán xạ ngược (BEI)
- Cổng phổ tán xạ bước sóng (WDS)
- Cổng nhiễu xạ điện tử tán xạ ngược (EBSD)
- Cổng thiết bị làm lạnh mẫu/Bộ giữ mẫu cho IC cổng (SCU/SHIC)
- Cổng đầu dò Cathodoluminescence (CLD)
- Cổng Side-mount specimen chamber scope (SCSS)
- Cổng quan sát mẫu - Top-mount specimen chamber scope(SCST)
- Cổng attachment door (on door) (ATDR)
- Cổng detector dòng dò (on column) (PCD)
Hệ thống hiển thị ảnh:
- Màn hình hiển thị: màn hình cảm ứng 23 inch
- Độ phân giải hiển thị tối đa: 5120 x 3840 pixels
Hệ thống chân không
- Điều khiển hoàn toàn tự động, chuyển đổi các chế độ chân không được tiến hành liên tục