Hệ thống tạo màng mỏng bằng phương pháp lắng đọng hơi hoá học DTC506-1200/DADA KOREA

Hệ thống ngưng đọng hơi hoá học bằng nhiệt (CVD)
Model: DTC506-1200
Hãng sản xuất: DADA Korea Co., Ltd - Hàn Quốc
Xuất xứ: Hàn Quốc
Thông số kỹ thuật
1.1. Mô-đun buồng phản ứng: 01 bộ
- Làm bằng vật liệu Inox 304 kích thước 89 x 160 mm (Đường kính x Chiều dài): 02 cái
- Cửa thao tác nhanh: 01 cái
- Ống thạch anh 1250mm x đường kính 100mm: 01 cái
- Bệ mẫu: vật liệu thạch anh kích thước 100 x 35 x 20 mm (Dài x Sâu x Cao): 01 cái
- Cổng bơm NW63: 01 cái
- Cổng bơm NW25: 02 cái
- Cổng đo NW25: 01 cái
- Cổng dự phòng NW25: 03 cái
- Cổng nạp khí vào 1/4 inches: 01 cái
1.2. Mô-đun chân không
1.2.1. Bơm chân không tốc độ 400 lít/ phút: 01 cái
- Model: EHP-400
- Tốc độ bơm thực tế: 400 l / phút
- Áp suất cuối cùng GB. đã đóng: 5 x 10-4 Torr
- Áp suất cuối cùng GB. đã mở: 5 x 10-2 Torr
- Công suất đầu vào: 220V, 1 pha hoặc 220V/380V, 3  pha
- Công suất tải toàn phần: 0,75 kW
- Tốc độ của động cơ: 1700 vòng/ phút
- Khối lượng: 29 kg
- Dải nhiệt độ hoạt động: 7 - 40 oC
- Kích thước tổng thể: 170 x 484 x 287 mm
1.2.2. Bộ đo chân không đối lưu
- Dải đo:
+ 1 x 10-4 đến 1.000 Torr
+ 1,3 x 10-4 đến 1,333 mbar
+ 1,3 x 10-2 Pa đến 133 kPa
- Độ chính xác - N2 (tiêu chuẩn):
+ 1 x 10-4 đến 1 x 10-3 Torr; Độ phân giải 0,1 m Torr
+ 1 x 10-3đến 400 Torr; ± 10% số đọc
+ 400 đến 1.000 Torr; ± 2,5% số đọc
- Độ lặp lại - (tiêu chuẩn): ± 2% số đọc
- Nhiệt độ hoạt động: 0 đến 50 ° C
- Nhiệt độ nung: tối đa 150 ° C, không hoạt động, với cáp điện tử được tháo rời
- Độ ẩm: 0 đến 95% độ ẩm tương đối, không ngưng tụ
- Hướng lắp: khuyến nghị theo chiều ngang (định hướng không ảnh hưởng đến các phép đo dưới 1 Torr)
- Vật liệu tiếp xúc với chân không: vonfram mạ vàng, thép không gỉ 304 & 316, thủy tinh, niken, Teflon®
- Thể tích bên trong: 1.589 in3 (26 cm3)
- Diện tích bề mặt bên trong: 9.25 in2 (59.7 cm2)
- Độ rò rỉ: <1 x 10-9 atm cc / giây He
- Trọng lượng: 3 oz. (85 g)
- Bảo vệ RF / EMI: tuân thủ CE
- Môi trường: Tuân thủ RoHS
1.2.3. Bộ điều khiển chân không
- Dải đo:
+ 1 x 10-4 đến 1.000 Torr
+ 1,3 x 10-4 đến 1,333 mbar
+ 1,3 x 10-2 Pa đến 133 kPa
- Màn hình: OLED sáng, 4 chữ số, người dùng lựa chọ Torr, mbar hoặc Pa (4 chữ số từ 1100 Torr đến 1000 Torr), (3 chữ số từ 999 Torr đến 10,0 mTorr), (2 chữ số từ 9,9 mTorr đến 1,0 mTorr) , (1 chữ số từ 0,9 mTorr đến 0,1 mTorr)
- Tốc độ cập nhật hiển thị: 0,5 giây
- Trọng lượng: 9 oz. (250 g)
- Nhiệt độ hoạt động: 0 đến + 40 oC
- Nhiệt độ bảo quản: - 40 đến + 70 oC
- Độ ẩm: 0 đến 95% độ ẩm tương đối, không ngưng tụ
- Đầu ra tương tự (người dùng có thể lựa chọn)
+ a) Log-tuyến tính 0 đến 7 Vdc hoặc 1 đến 8 Vdc, 1 V / thập phân
+ b) Tuyến tính 0 đến 10 Vdc
+ c) Đường cong S phi tuyến tính 0,375 đến 5,659 Vdc
+ d) đường cong S phi tuyến tính 0 đến 9 Vdc
- Giao tiếp nối tiếp: RS232 và 2 dây / 4 dây RS485 - giao thức ASCII
- Vỏ: Vỏ gắn bảng điều khiển 1/8-DIN (nhôm định hình)
- Công suất đầu vào: 12-28 Vdc, 2 W được bảo vệ chống đảo ngược nguồn và quá điện áp thoáng qua
- Rơle điểm đặt: hai rơle ném đôi một cực (SPDT), 1 A ở điện trở 30 Vdc, hoặc xoay chiều không cảm ứng
- Đầu nối:
+ Đồng hồ đo: 9 chân D-sub cái (đầu nối kết nối được cung cấp như một phần của cáp đồng hồ đo)
+ Đầu ra tương tự và giao diện kế nối nối tiếp: D-sub đực 9 chân
+ Đầu ra rơ le: Khối đầu cuối cắm được 6 chân (bao gồm đầu nối giao phối)
+ Nguồn: Khối thiết bị đầu cuối có thể cắm được 2 chân (bao gồm đầu nối giao phối)
- Tuân thủ CE Chỉ thị EMC 2014/30 / EU, EN55011, EN61000-6-2, EN61000-6-4, EN61326-1, EN61010-1
- Môi trường: Tuân thủ RoHS
1.2.4. Áp kế Baratron 1torr: 01 cái
+ Dải áp suất (mmHg toàn dải): 1, 2, 10, 100, 1000
+ Dải đo có thể sử dụng: 1x10-4 F.S
+ Độ chính xác (không tuyến tính, trễ và không lặp lại): 0,25%
+ Hệ số nhiệt độ
o Zero: 0,002% F.S / oC
o Khoảng cách: 0,02% lần đọc / oC 
+ Dải nhiệt độ hoạt động: 0 - 50 oC
+ Vật liệu tiếp xúc với khí: Inconel
+ Thể tích (Px bên): 6.3 cc
+ Giới hạn quá áp: 45 psia (310 kPa)
+ Yêu cầu đầu vào: ± 15 VDC (± 5%) @ 35 mA
+ Đầu ra: 0 đến +10 VDC tại ≥ 10K Ω
+ Phụ kiện: 8 VCR cái, NW16KF
1.2.5. Bộ đọc cho Áp kế Baratron: 01 cái
1.3. Mô-đun gia nhiệt: 01 bộ
- 3 vùng gia nhiệt với 3 bộ điều khiển nhiệt độ riêng biệt cho từng vùng
- Chiều dài từng vùng gia nhiệt lần lượt là: 
+ Vùng 1: 150 mm
+ Vùng 2: 150 mm
+ Vùng 1: 225 mm
- Nhiệt độ tối đa: 1200 oC cho mỗi vùng gia nhiệt
1.3.1. Bộ điều khiển nhiệt độ: 03 bộ
Model: UP35A
+ Màn hình PV (trắng hoặc đỏ)
o Hiển thị PV
o Hiển thị mã lỗi nếu xảy ra lỗi
o Hiển thị hướng dẫn cuộn trong màn hình menu và hiển thị cài đặt thông số khi màn hình hướng dẫn BẬT / TẮT được đặt thành BẬT.
+ Hiển thị nhóm  (số mẫu) (màu xanh lá cây)
o 1 đến 2 (4 khi tùy chọn "/ AP" được chỉ định) đại diện cho số mẫu trong màn hình hoạt động
o Hiển thị số nhóm (1 đến 4 hoặc R) và khu vực đầu cuối (E1 đến E4) trong màn hình cài đặt thông số.
+ Hiển thị biểu tượng (màu cam): Hiển thị biểu tượng thông số
+ Hiển thị dữ liệu (màu cam): Hiển thị điểm đặt tham số và biểu tượng menu
+ Thanh đồ thị quá trình (các giai đoạn, báo động) (màu cam)
o Hiển thị trạng thái các quá trình và vị trí phân đoạn trong Màn hình hoạt động. (Giá trị mặc định: trạng thái giai đoạn, thời gian, trạng thái báo động)
o Hiển thị van đầu ra điều khiển (OUT) và van đầu vào đo (PV)
o Dữ liệu của hiển thị có thể được thiết lập bởi tham số.
+ Chỉ thị giai đoạn (màu cam)
o Sáng đèn khi các giai đoạn PV đang  xảy ra
o Hiển thị giai đoạn có thể được thiết lập bởi tham số.
+ Chỉ thị điều hướng phím (màu xanh lá cây): Sáng hoặc Nhấp nháy khi có thể thực hiện thao tác phím mũi tên lên / xuống hoặc trái / phải.
+ Chỉ thị cần gạt hiển thị thông số (màu xanh lá cây)
+ Giám sát chương trình (màu xanh lá cây)
o Hiển thị trạng thái tăng, hằng số và giảm của điểm đặt chương trình: sáng đèn khi điểm đặt chương trình đang tăng; sáng đèn khi điểm đặt chương trình không đổi; sáng đèn khi điểm đặt chương trình đang giảm
+ Chỉ thị trạng thái (xanh và đỏ)
+ Chỉ thị bảo mật (màu đỏ): Sáng đèn nếu mật khẩu được đặt. Cài đặt thông số thiết lập bị khóa
+ Đèn báo hoạt động bậc thang (màu xanh lá cây): Sáng đèn trong khi hoạt động chương trình bậc thang được thực hiện
1.4. Mô đun điều tiết khí
1.4.1. Bộ điều khiển lưu lượng dòng khí 100sccm/Tylan: 03 cái
+ Tính năng
- Chính xác
- Phản hồi điểm cài đặt nhanh
- Tốc độ 10 sccm tới 30 slpm N2
- Tín hiệu: 0 - 5VDC
- Làm từ vật liệu chống ăn mòn
+ Hiệu năng
- Toàn dải: 10 sccm tới 30 slpm N2
- Độ chính xác: ± 1.0% toàn dải
- Độ tuyến tính: ± 0.5% toàn dải
- Độ lặp lại: ± 0.2% toàn dải
- Hệ số nhiệt độ: ±0.1%/℃ toàn dải
- Hệ số áp suất: 0.007%/psi toàn dải
+ Cơ khí
- Van điện từ normally - closed
- Vật liệu: Thép không gỉ 316 L, Thép không gỉ 446, PFA Teflon
- Rò rỉ: 1×10-9 atm cc He/sec
+ Điện năng
- Nguồn cấp: ± 12 VDC tới 18 VDC
- Dòng cấp: 150 mA
- Công suất tiêu thụ: 3.3 W
- Nguồn điện: 0 tới 5 VDC
1.4.2. Bộ điều khiển lưu lượng dòng khí 500sccm/Tylan: 01 cái
+ Tính năng
- Chính xác
- Phản hồi điểm cài đặt nhanh
- Tốc độ 10 sccm tới 30 slpm N2
- Tín hiệu: 0 - 5VDC
- Làm từ vật liệu chống ăn mòn
+ Hiệu năng
- Toàn dải: 10 sccm tới 30 slpm N2
- Độ chính xác: ± 1.0% toàn dải
- Độ tuyến tính: ± 0.5% toàn dải
- Độ lặp lại: ± 0.2% toàn dải
- Hệ số nhiệt độ: ±0.1%/℃ toàn dải
- Hệ số áp suất: 0.007%/psi toàn dải
+ Cơ khí
- Van điện từ normally - closed
- Vật liệu: Thép không gỉ 316 L, Thép không gỉ 446, PFA Teflon
- Rò rỉ: 1×10-9 atm cc He/sec
+ Điện năng
- Nguồn cấp: ± 12 VDC tới 18 VDC
- Dòng cấp: 150 mA
- Công suất tiêu thụ: 3.3 W
- Nguồn điện: 0 tới 5 VDC
1.4.3. Bộ đọc tín hiệu 4 kênh: 01 cái
- Kích thước tổng thể: 241 x 88 x 200 mm (W x D x H)
- Khối lượng: Xấp xỉ 1.5 tới 2.0 kg (Phụ thuộc vào tùy chọn)
- Nguồn điện đầu vào: 195 tới 265 VAC tại 50/60 Hz
- Cầu chì: 250 VAC, 3A
- Công suất đầu ra: ± 15 VDC ± 5% tại 2.7 A
- Tín hiệu đầu vào: 0 tới 5.000 VDC cho MFC
- Cửa sổ màn hình hiển thị: Màn hình LCD với 128 x 64 điểm đồ họa
- Hiển thị 4 số cho MFC
1.5. Khung hệ thống & giá điều khiển: 01 cái
- Cảm ứng & điều khiển PLC
- Van kiểm soát
- Khung hệ thống kích thước 1.500 x 650 x 985 mm (W x D x H)
- Chân đế với bánh xe di chuyển
1.6. Bình khí và van điều áp cung cấp tại Việt Nam bao gồm
+ Bình khí Argon dung tích 40 lít và van điều áp 2 cấp: 01 bình
+ Bình khí Hydro dung tích 40 lít và van điều áp 2 cấp: 01 bình
+ Bình khí Oxy dung tích 40 lít và van điều áp 2 cấp: 01 bình
+ Bình khí Mêtan (CH4) dung tích 40 lít và van điều áp 2 cấp: 01 bình
1.7. Các vật tư tiêu hao cấp kèm theo máy bao gồm
- Đế SiO2: n-type, p-type.
- Đế MgO
- Đế Al2O3­­
- Bột Molybdenum hexacarbonyl
- Bột Diethyl Sulfide
- Bột Te
- Bột TeO2
- Bột WCl6