Hệ thống tạo màng mỏng bằng phương pháp lắng đọng hơi hoá học DTC502-1200/DADA KOREA

Hệ thống chế tạo màng bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học (CVD) DTC502-1200
Model: DTC502-1200
Hãng sản xuất: DADA Korea Co., Ltd - Hàn Quốc
Xuất xứ: Hàn Quốc
Thông số kỹ thuật
1.1. Mô-đun buồng phản ứng: 01 bộ
- Làm bằng vật liệu Inox 304 kích thước 70 x 102 mm (Đường kính x Chiều dài): 01 cái
- Làm bằng vật liệu Inox 304 kích thước 114 x 66 mm (Đường kính x Chiều dài): 01 cái
- Cửa thao tác nhanh: 01 cái
- Ống thạch anh 990 mm x 50 mm (Chiều dài x Đường kính) : 01 cái
- Bệ mẫu: vật liệu thạch anh kích thước 100 x 20 x 10 mm (Dài x Sâu x Cao): 01 cái
- Cổng bơm NW25: 01 cái
- Cổng đo NW25: 01 cái
- Cổng dự phòng NW25: 03 cái
- Cổng nạp khí vào 1/4 inches: 01 cái
1.2. Mô đun chân không
1.2.1. Bơm chân không tốc độ 200 lít/ phút: 01 cái
+ Model: EHP-200
+ Tốc độ bơm thực tế: 200 l / phút
+ Áp suất cuối cùng GB. đã đóng: 5 x 10 -4 Torr
+ Áp suất cuối cùng GB. đã mở: 5 x 10 -2 Torr
+ Công suất đầu vào: 220V, 1 pha hoặc 220V/380V, 3  pha
+ Công suất tải toàn phần: 400 W
+ Tốc độ của động cơ: 1700 vòng/ phút
+ Khối lượng: 21 kg
+ Dải nhiệt độ hoạt động: 7 - 40 oC
+ Kích thước tổng thể: 150 x 423 x 250 mm
1.2.2 Bộ đo chân không
- Dải đo:
+ 1 x 10-4 đến 1.000 Torr
+ 1,3 x 10-4đến  1,333 mbar
+ 1,3 x 10-2 Pa đến  133 kPa
- Độ chính xác - N2 (tiêu chuẩn):
+ 1 x 10-4 đến 1 x 10-3 Torr; Độ phân giải 0,1 m Torr
+ 1 x 10-3 đến 400 Torr; ± 10% số đọc
+ 400 đến 1.000 Torr; ± 2,5% số đọc
- Độ lặp lại - (tiêu chuẩn): ± 2% số đọc
- Hiển thị: Màn hình OLED, 4 số, người dùng lựa chọn hiển thị Torr, mbar hoặc Pa
- Vật liệu tiếp xúc với chân không: vonfram mạ vàng, thép không gỉ 304 & 316, thủy tinh, niken, Teflon®
- Thể tích bên trong: 1.589 in3 (26 cm3)
- Diện tích bề mặt bên trong: 9.25 in2 (59.7 cm2)
- Trọng lượng: 12 oz. (340 g)
- Nhiệt độ hoạt động: 0 đến 40 ° C
- Nhiệt độ nung: tối đa 150 ° C, không hoạt động, với cáp điện tử được tháo rời
- Độ ẩm: 0 đến 95% độ ẩm tương đối, không ngưng tụ
- Hướng lắp: khuyến nghị theo chiều ngang (định hướng không ảnh hưởng đến các phép đo dưới 1 Torr)
- Môi trường: Tuân thủ RoHS
1.3. Mô-đun gia nhiệt: 01 bộ
- 2 vùng gia nhiệt với 2 bộ điều khiển nhiệt độ riêng biệt cho từng vùng
- Chiều dài từng vùng gia nhiệt lần lượt là: 
+ Vùng 1: 200 mm
+ Vùng 2: 200 mm
- Nhiệt độ tối đa: 1100 oC cho mỗi vùng gia nhiệt
- Công suất vùng 1: 2 kW, nguồn 220 Vac, 1 pha
- Công suất vùng 2: 2 kW, nguồn 220 Vac, 1 pha
1.3.1. Bộ điều khiển nhiệt độ: 02 bộ
Model: UP35A
+ Màn hình PV (trắng hoặc đỏ)
o Hiển thị PV
o Hiển thị mã lỗi nếu xảy ra lỗi
o Hiển thị hướng dẫn cuộn trong màn hình menu và hiển thị cài đặt thông số khi màn hình hướng dẫn BẬT / TẮT được đặt thành BẬT.
+ Hiển thị nhóm  (số mẫu) (màu xanh lá cây)
o 1 đến 2 (4 khi tùy chọn "/ AP" được chỉ định) đại diện cho số mẫu trong màn hình hoạt động
o Hiển thị số nhóm (1 đến 4 hoặc R) và khu vực đầu cuối (E1 đến E4) trong màn hình cài đặt thông số.
+ Hiển thị biểu tượng (màu cam): Hiển thị biểu tượng thông số
+ Hiển thị dữ liệu (màu cam): Hiển thị điểm đặt tham số và biểu tượng menu
+ Thanh đồ thị quá trình (các giai đoạn, báo động) (màu cam)
o Hiển thị trạng thái các quá trình và vị trí phân đoạn trong Màn hình hoạt động. (Giá trị mặc định: trạng thái giai đoạn, thời gian, trạng thái báo động)
o Hiển thị van đầu ra điều khiển (OUT) và van đầu vào đo (PV)
o Dữ liệu của hiển thị có thể được thiết lập bởi tham số.
+ Chỉ thị giai đoạn (màu cam)
o Sáng đèn khi các giai đoạn PV đang  xảy ra
o Hiển thị giai đoạn có thể được thiết lập bởi tham số.
+ Chỉ thị điều hướng phím (màu xanh lá cây): Sáng hoặc Nhấp nháy khi có thể thực hiện thao tác phím mũi tên lên / xuống hoặc trái / phải.
+ Chỉ thị cần gạt hiển thị thông số (màu xanh lá cây)
+ Giám sát chương trình (màu xanh lá cây)
o Hiển thị trạng thái tăng, hằng số và giảm của điểm đặt chương trình: sáng đèn khi điểm đặt chương trình đang tăng; sáng đèn khi điểm đặt chương trình không đổi; sáng đèn khi điểm đặt chương trình đang giảm
+ Chỉ thị trạng thái (xanh và đỏ)
+ Chỉ thị bảo mật (màu đỏ): Sáng đèn nếu mật khẩu được đặt. Cài đặt thông số thiết lập bị khóa
+ Đèn báo hoạt động bậc thang (màu xanh lá cây): sáng đèn trong khi hoạt động chương trình bậc thang được thực hiện
1.4. Mô đun điều tiết khí
1.4.1. Bộ điều khiển lưu lượng dòng khí 1000sccm: 02 cái
+ Tính năng
- Chính xác
- Phản hồi điểm cài đặt nhanh
- Tốc độ 10 sccm tới 30 slpm N2
- Tín hiệu: 0 - 5VDC
- Làm từ vật liệu chống ăn mòn
+ Hiệu năng
- Toàn dải: 10 sccm tới 30 slpm N2
- Độ chính xác: ± 1.0% toàn dải
- Độ tuyến tính: ± 0.5% toàn dải
- Độ lặp lại: ± 0.2% toàn dải
- Hệ số nhiệt độ: ±0.1%/℃ toàn dải
- Hệ số áp suất: 0.007%/psi toàn dải
+ Cơ khí
- Van điện từ normally - closed
- Vật liệu: Thép không gỉ 316 L, Thép không gỉ 446, PFA Teflon
- Rò rỉ: 1×10-9 atm cc He/sec
+ Điện năng
- Nguồn cấp: ± 12 VDC tới 18 VDC
- Dòng cấp: 150 mA
- Công suất tiêu thụ: 3.3 W
- Nguồn điện: 0 tới 5 VDC
1.4.2. Bộ đọc tín hiệu 2 kênh: 01 cái
- Kích thước tổng thể: 241 x 88 x 200 mm (W x D x H)
- Khối lượng: Xấp xỉ 1.5 tới 2.0 kg (Phụ thuộc vào tùy chọn)
- Nguồn điện đầu vào: 195 tới 265 VAC tại 50/60 Hz
- Cầu chì: 250 VAC, 3A
- Công suất đầu ra: ± 15 VDC ± 5% tại 2.7 A
- Tín hiệu đầu vào: 0 tới 5.000 VDC cho MFC
- Cửa sổ màn hình hiển thị: Màn hình LCD với 128 x 64 điểm đồ họa
- Hiển thị 4 số cho MFC
1.5. Khung hệ thống & giá điều khiển: 01 cái
- Giá cho nguồn cấp cho bộ gia nhiệt:   
- Giá cho bộ đọc MFC
- Khung định hình nhôm kích thước 990 x 450 x 340 mm ( Dài x Sâu x Cao)
1.6. Bình khí và van điều áp cung cấp tại Việt Nam bao gồm
+ Bình khí Argon dung tích 40 lít và van điều áp 2 cấp: 01 bình
+ Bình khí Ni tơ dung tích 40 lít và van điều áp 2 cấp: 01 bình