Hệ thống chế tạo màng bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học (CVD)
Model: DTC601-1200
Hãng sản xuất: DADA Korea Co., Ltd - Hàn Quốc
Xuất xứ: Hàn Quốc
Thông số kỹ thuật
1.1. Mô-đun buồng phản ứng: 01 bộ
- Làm bằng vật liệu Inox 304 kích thước 89 x 160 mm (Đường kính x Chiều dài): 02 cái
- Cửa thao tác nhanh: 01 cái
- Ống thạch anh 1250mm x đường kính 100mm: 01 cái
-Bệ mẫu: vật liệu thạch anh kích thước 100 x 35 x 20 mm (Dài x Sâu x Cao): 01 cái
- Cổng bơm NW63: 01 cái
- Cổng bơm NW25: 02 cái
- Cổng đo NW25: 01 cái
- Cổng dự phòng NW25: 03 cái
- Cổng nạp khí vào 1/4 inches: 01 cái
1.2. Mô-đun chân không
1.2.1. Bơm turbo tốc độ 67 lít/ giây (Hipace80): 01 cái
+ Model : Pfeiffer Vacuum HiCube 80 Eco
+ Bơm chính: Bơm turbo HiPace 80, 67 l / s (N2)
+ Công suất đầu vào: 100 - 240 VAC, 50/60 Hz, 270 W
+ Mặt bích: DN 63 ISO-K (in), Bộ giảm thanh, G 1/8 ”
+ Kích thước: 301 (W) x 302 (D) x 347 (H)
1.2.2. Áp kế đo chân không: 01 cái
- Model : Pfeiffer Vacuum PKR 251
- Dải đo : 5 · 10-9 hPa ~ 1,000 hPa
- Nguồn cấp : 15 – 30 VDC, 2 W max.
- Mặt bích : DN 25 ISO-KF
1.2.3. Bơm quay (Bơm sơ cấp) tốc độ 200 lít/ phút: 01 cái
+ Model: EHP-200
+ Tốc độ bơm thực tế: 200 l / phút
+ Áp suất cuối cùng GB. đã đóng: 5 x 10 -4 Torr
+ Áp suất cuối cùng GB. đã mở: 5 x 10 -2 Torr
+ Công suất đầu vào: 220V, 1 pha hoặc 220V/380V, 3 pha
+ Công suất tải toàn phần: 0,4 kW
+ Tốc độ của động cơ: 1700 vòng/ phút
+ Khối lượng: 21 kg
+ Dải nhiệt độ hoạt động: 7 - 40 oC
+ Kích thước tổng thể: 150 x 423 x 250 mm
1.2.4. Van Cổng ISO63: 01 cái
+ Cấu tạo vật liệu:
o Thân, cổng van, nắp van: 300 series ss
o Xilanh khí: nhôm
o Ống dẫn: AM-350
+ Vòng đệm bít
o Vòng đệm nắp: Kim loại / Viton
o Vòng đệm cổng: Viton
+ Bộ truyền động:
o Khí nén áp suất từ 70 đến 100 psig (loại lớn 80 - 100 psig), van điều khiển bằng khí, chỉ báo 20 mA, 110/220 V AC or 24 V DC
o Thủ công: Loại quay bằng tay
+ Tốc độ rò rỉ:
o Thân, Vòng đệm bít nắp Viton, vòng đệm đĩa: 1 x 10-9 mbar.l/s
1.2.5. Áp kế Baratron 1torr: 01 cái
+ Dải áp suất (mmHg toàn dải): 1, 2, 10, 100, 1000
+ Dải đo có thể sử dụng: 1x10-4 F.S
+ Độ chính xác (không tuyến tính, trễ và không lặp lại): 0,25%
+ Hệ số nhiệt độ
o Zero: 0,002% F.S / oC
o Khoảng cách: 0,02% lần đọc / oC
+ Dải nhiệt độ hoạt động: 0 - 50 oC
+ Vật liệu tiếp xúc với khí: Inconel
+ Thể tích (Px bên): 6.3 cc
+ Giới hạn quá áp: 45 psia (310 kPa)
+ Yêu cầu đầu vào: ± 15 VDC (± 5%) @ 35 mA
+ Đầu ra: 0 đến +10 VDC tại ≥ 10K Ω
+ Phụ kiện: 8 VCR cái, NW16KF
1.2.6. Bộ đọc cho Áp kế Baratron: 01 cái
1.3. Mô-đun gia nhiệt: 01 bộ
- 3 vùng gia nhiệt với 3 bộ điều khiển nhiệt độ riêng biệt cho từng vùng
- Chiều dài từng vùng gia nhiệt lần lượt là:
+ Vùng 1: 150 mm
+ Vùng 2: 150 mm
+ Vùng 1: 225 mm
- Nhiệt độ tối đa: 1200 oC cho mỗi vùng gia nhiệt
1.3.1. Bộ điều khiển nhiệt độ: 03 bộ
Model: UP35A
+ Màn hình PV (trắng hoặc đỏ)
o Hiển thị PV
o Hiển thị mã lỗi nếu xảy ra lỗi
o Hiển thị hướng dẫn cuộn trong màn hình menu và hiển thị cài đặt thông số khi màn hình hướng dẫn BẬT / TẮT được đặt thành BẬT.
+ Hiển thị nhóm (số mẫu) (màu xanh lá cây)
o 1 đến 2 (4 khi tùy chọn "/ AP" được chỉ định) đại diện cho số mẫu trong màn hình hoạt động
o Hiển thị số nhóm (1 đến 4 hoặc R) và khu vực đầu cuối (E1 đến E4) trong màn hình cài đặt thông số.
+ Hiển thị biểu tượng (màu cam): Hiển thị biểu tượng thông số
+ Hiển thị dữ liệu (màu cam): Hiển thị điểm đặt tham số và biểu tượng menu
+ Thanh đồ thị quá trình (các giai đoạn, báo động) (màu cam)
o Hiển thị trạng thái các quá trình và vị trí phân đoạn trong Màn hình hoạt động. (Giá trị mặc định: trạng thái giai đoạn, thời gian, trạng thái báo động)
o Hiển thị van đầu ra điều khiển (OUT) và van đầu vào đo (PV)
o Dữ liệu của hiển thị có thể được thiết lập bởi tham số.
+ Chỉ thị giai đoạn (màu cam)
o Sáng đèn khi các giai đoạn PV đang xảy ra
o Hiển thị giai đoạn có thể được thiết lập bởi tham số.
+ Chỉ thị điều hướng phím (màu xanh lá cây): Sáng hoặc Nhấp nháy khi có thể thực hiện thao tác phím mũi tên lên / xuống hoặc trái / phải.
+ Chỉ thị cần gạt hiển thị thông số (màu xanh lá cây)
+ Giám sát chương trình (màu xanh lá cây)
o Hiển thị trạng thái tăng, hằng số và giảm của điểm đặt chương trình: sáng đèn khi điểm đặt chương trình đang tăng; sáng đèn khi điểm đặt chương trình không đổi; sáng đèn khi điểm đặt chương trình đang giảm
+ Chỉ thị trạng thái (xanh và đỏ)
+ Chỉ thị bảo mật (màu đỏ): Sáng đèn nếu mật khẩu được đặt. Cài đặt thông số thiết lập bị khóa
+ Đèn báo hoạt động bậc thang (màu xanh lá cây): Sáng đèn trong khi hoạt động chương trình bậc thang được thực hiện
1.4. Mô đun điều tiết khí
1.4.1. Bộ điều khiển lưu lượng dòng khí 100sccm/Tylan: 03 cái
+ Tính năng
- Chính xác
- Phản hồi điểm cài đặt nhanh
- Tốc độ 10 sccm tới 30 slpm N2
- Tín hiệu: 0 - 5VDC
- Làm từ vật liệu chống ăn mòn
+ Hiệu năng
- Toàn dải: 10 sccm tới 30 slpm N2
- Độ chính xác: ± 1.0% toàn dải
- Độ tuyến tính: ± 0.5% toàn dải
- Độ lặp lại: ± 0.2% toàn dải
- Hệ số nhiệt độ: ±0.1%/℃ toàn dải
- Hệ số áp suất: 0.007%/psi toàn dải
+ Cơ khí
- Van điện từ normally - closed
- Vật liệu: Thép không gỉ 316 L, Thép không gỉ 446, PFA Teflon
- Rò rỉ: 1×10-9 atm cc He/sec
+ Điện năng
- Nguồn cấp: ± 12 VDC tới 18 VDC
- Dòng cấp: 150 mA
- Công suất tiêu thụ: 3.3 W
- Nguồn điện: 0 tới 5 VDC
1.4.2. Bộ điều khiển lưu lượng dòng khí 500sccm/Tylan: 01 cái
+ Tính năng
- Chính xác
- Phản hồi điểm cài đặt nhanh
- Tốc độ 10 sccm tới 30 slpm N2
- Tín hiệu: 0 - 5VDC
- Làm từ vật liệu chống ăn mòn
+ Hiệu năng
- Toàn dải: 10 sccm tới 30 slpm N2
- Độ chính xác: ± 1.0% toàn dải
- Độ tuyến tính: ± 0.5% toàn dải
- Độ lặp lại: ± 0.2% toàn dải
- Hệ số nhiệt độ: ±0.1%/℃ toàn dải
- Hệ số áp suất: 0.007%/psi toàn dải
+ Cơ khí
- Van điện từ normally - closed
- Vật liệu: Thép không gỉ 316 L, Thép không gỉ 446, PFA Teflon
- Rò rỉ: 1×10-9 atm cc He/sec
+ Điện năng
- Nguồn cấp: ± 12 VDC tới 18 VDC
- Dòng cấp: 150 mA
- Công suất tiêu thụ: 3.3 W
- Nguồn điện: 0 tới 5 VDC
1.4.3. Bộ đọc tín hiệu 4 kênh: 01 cái
- Kích thước tổng thể: 241 x 88 x 200 mm (W x D x H)
- Khối lượng: Xấp xỉ 1.5 tới 2.0 kg (Phụ thuộc vào tùy chọn)
- Nguồn điện đầu vào: 195 tới 265 VAC tại 50/60 Hz
- Cầu chì: 250 VAC, 3A
- Công suất đầu ra: ± 15 VDC ± 5% tại 2.7 A
- Tín hiệu đầu vào: 0 tới 5.000 VDC cho MFC
- Cửa sổ màn hình hiển thị: Màn hình LCD với 128 x 64 điểm đồ họa
- Hiển thị 4 số cho MFC
1.5. Khung hệ thống & giá điều khiển: 01 cái
- Cảm ứng & điều khiển PLC
- Van kiểm soát
- Khung hệ thống kích thước 1.500 x 650 x 985 mm (W x D x H)
- Chân đế với bánh xe di chuyển
1.6. Bình khí và van điều áp cung cấp tại Việt Nam bao gồm
+ Bình khí Argon dung tích 40 lít và van điều áp 2 cấp: 01 bình
+ Bình khí Hydro dung tích 40 lít và van điều áp 2 cấp: 01 bình
+ Bình khí Oxy dung tích 40 lít và van điều áp 2 cấp: 01 bình
+ Bình khí Mêtan (CH4) dung tích 40 lít và van điều áp 2 cấp: 01 bình
1.7. Các vật tư tiêu hao cấp kèm theo máy bao gồm
- Đế SiO2: n-type, p-type.
- Đế MgO
- Đế Al2O3
- Bột Molybdenum hexacarbonyl
- Bột Diethyl Sulfide
- Bột Te
- Bột TeO2
- Bột WCl6
Chat Zalo
Đọc thêm 
