Hệ thống phún xạ magnetron DS3100/ DADA KOREA

Hệ thống phún xạ catot tạo màng mỏng
Model: DS3100
Hãng sản xuất: DADA Korea Co., Ltd - Hàn Quốc
Xuất xứ: Hàn Quốc
Phạm vi cung cấp bao gồm
1.1. Buồng chân không
- Kích thước: Làm bằng vật liệu Inox 304 kích thước 328 x 340 (Đường kính x Chiều cao) (khoảng 28 lít)
- Cổng đế phủ vật liệu kích thước 8 inches
- Cổng kết nối bơm chân không ISO 160
- Cổng Cathode
- CF2.75'' Gauge, Extra Port
- Buồng chân không hình trụ nằm ngang với cửa quan sát phía trước
- Tấm bảo vệ chống nhiễm bẩn
- Cửa sổ nhìn qua đường kính 6 inches
- Cửa chặn của cửa sổ nhìn qua đường kính 6 inches
- Buồng chiếu sáng
1.2. Mô đun đế mẫu
- Bộ giữ đế mẫu 2 inches
- Đèn Halogen, tối đa 800oC làm mát bằng nước
- Tốc độ quay: 0 tới 30 vòng/ phút
- Cửa chặn mẫu, điều khiển bằng khí nén
1.3. Mô đun nguồn
1.3.1. Nguồn xoay chiều 600 W
Thông số kỹ thuật
- Nguồn cấp: 220 V
- Công suất đầu ra: 600 W
- Điện trở đầu ra: 50 Ω
- Tần số: 2MHz, 4MHz, 13.56MHz, 27.12MHz và 40.68MHz
- Hiệu suất của nguồn RF: 70%
- Kết nối đầu ra: Kiểu N
- Chế độ nguồn cấp: SMPS
- Kiểu làm mát: Bằng không khí
1.3.2. Bộ phối hợp trở kháng tự động 600W
Thông số kỹ thuật
- Dải công suất RF: 0 tới 600 W
- Phương pháp matching: 2AVC
- Tần số: ± 2MHz, 4MHz, 13.56MHz, 27.12MHz và 40.68MHz
- Điện trở đầu vào: 50 Ω
- Dải tuning: 10 - 1.000 Ω
- Chế độ hoạt động:  Thủ công và Tự động điều chỉnh kỹ thuật số
- Kiểu làm mát: Bằng không khí bởi quạt
1.3.3. Nguồn 1 chiều 1.000 W dạng xung
Thông số kỹ thuật
+ Đầu vào
- Tần số: 47 tới 63 Hz
- Điện áp 220 VAC, 1 pha
- Dòng điện: 5.5 A
- Hiệu suất: 93% tại điện thế 220 VAC
+ Đầu ra
- Điện áp: 0 tới 1000 V
- Dòng: 0 tới 1 A
- Kiểu làm mát: Bằng không khí
1.3.4. Súng phún xạ Magnetron kích thước 2 inches và cửa chập
Thông số kỹ thuật
- Kiểu nam châm: Nam châm vĩnh cửu
- Kích thước bia: 2", 6.4t
- Kiểu làm mát: Bằng nước
- Nguồn: DC hoặc RF
- Nguồn kết nối đầu vào: Bộ kết nối kiểu N
1.4. Mô đun bơm chân không
1.4.1. Bơm turbo tốc độ 400 lít/ giây
Thông số kỹ thuật
- Đầu vào: ISO 160
- Đầu ra: NW25
- Tốc độ bơm: 400 lít/ giây @ N2
- Tỷ số nén đầu vào > 1 x 1011 @ N2
- Tốc độ quay định danh: 60.000 vòng/  phút
- Độ chân không đạt được khi sử dụng với bơm ngược RV <1 x 10-8 mbar
1.4.2. Bơm quay (Rotary pump)
Model: EHP-400
- Tốc độ bơm thực tế: 400 l / phút
- Áp suất cuối cùng GB. đã đóng: 5 x 10 -4 Torr
- Áp suất cuối cùng GB. đã mở: 5 x 10 -2 Torr
- Công suất đầu vào: 220V, 1 pha hoặc 220V/380V, 3  pha
- Công suất tải toàn phần: 0,75 kW
- Tốc độ của động cơ: 1700 vòng/ phút
- Khối lượng: 29 kg
- Dải nhiệt độ hoạt động: 7 - 40 oC
- Kích thước tổng thể: 170 x 484 x 287 mm
1.4.3. Bộ điều khiển áp lực (Gauge controller)
+ Tính năng
- Bộ điều khiển gồm 3 kênh với 1 kênh cho iôn hóa và 2 kênh cho bộ đo đối lưu hoặc 1 kênh cho iôn hóa, 1 kênh đói lưu và 1 kênh đo màng ngăn điện dung thay thế  
- Dải đo từ 2 x 10-11 tới 1.000 Torr
- 3 kênh đầu ra tương tự, 6 rơ le 
- Kết nối số I/O, RS232 và RS485
- Dải đo: 1 x 10-9 đến 1000 Torr khi được sử dụng với IGM400 IG và CVG101 CG
- Hiển thị áp suất: Màn hình LED - 3 kênh hiển thị áp suất độc lập - 3 chữ số cộng với số mũ 2 chữ số trên mỗi kênh
- Màn hình lập trình & thiết lập: Màn hình OLED - hiển thị trạng thái của tất cả các rơle điểm đặt, dòng phát xạ IG, thông báo lỗi cho các điều kiện lỗi
- Đơn vị đo: Torr, mbar, Pa - người sử dụng có thể lựa chọn được
- Chức năng
+ IG: Cấp nguồn và vận hành một trong các đồng hồ đo chân không ion hóa InstruTech IGM400 Hot Cathode (1 x 10-9 tới 5 x 10-2 Torr) hoặc loại CCM500 Cold Cathode (1 x 10-9 tới 1 x 10-2 Torr)
+ CG: Cấp nguồn & vận hành tối đa 2 đồng hồ đo đối lưu instruTech CVG101(1 x 10-4  tới 1,000 Torr) hoặc Granville-Phillips (GP)
- Điều khiển cảm biến IG: Bật / tắt cảm biến IG, bật / tắt degas và dòng phát xạ (cathode nóng IG) đều có thể được điều khiển thông qua phím chức năng nằm ở bảng điều khiển phía trước, tín hiệu đầu vào từ xa (I / O kỹ thuật số) hoặc truyền thông nối tiếp. Cảm biến IG cũng có thể được tự động bật / tắt bằng cách sử dụng các phép đo từ một trong các đồng hồ đo đối lưu hoặc thay thế có thể lựa chọn của người dùng
- Tín hiệu đầu vào từ xa IG (I / O kỹ thuật số): Bật / tắt cảm biến IG, bật / tắt độ phân cực và dòng phát xạ (IG cathode nóng) cũng có thể được thiết lập bằng cách áp dụng momentary continuity to ground. Ngoài ra, đầu vào từ xa 9 chân D-sub Đầu nối DIGITAL I / O cung cấp tín hiệu tương thích chân cắm với bộ điều khiển GP 358 cũng như các tín hiệu tương thích với GP 307
1.4.4. Bộ đo chân không đối lưu
- Dải đo:
+ 1 x 10-4 đến 1.000 Torr
+ 1,3 x 10-4 đến 1,333 mbar
+ 1,3 x 10-2 Pa đến 133 kPa
- Độ chính xác - N2 (tiêu chuẩn):
+ 1 x 10-4 đến 1 x 10-3 Torr; Độ phân giải 0,1 m Torr
+ 1 x 10-3đến 400 Torr; ± 10% số đọc
+ 400 đến 1.000 Torr; ± 2,5% số đọc
- Độ lặp lại - (tiêu chuẩn): ± 2% số đọc
- Nhiệt độ hoạt động: 0 đến 50 ° C
- Nhiệt độ nung: tối đa 150 ° C, không hoạt động, với cáp điện tử được tháo rời
- Độ ẩm: 0 đến 95% độ ẩm tương đối, không ngưng tụ
- Hướng lắp: khuyến nghị theo chiều ngang (định hướng không ảnh hưởng đến các phép đo dưới 1 Torr)
- Vật liệu tiếp xúc với chân không: vonfram mạ vàng, thép không gỉ 304 & 316, thủy tinh, niken, Teflon®
- Thể tích bên trong: 1.589 in3 (26 cm3)
- Diện tích bề mặt bên trong: 9.25 in2 (59.7 cm2)
- Độ rò rỉ: <1 x 10-9 atm cc / giây He
- Trọng lượng: 3 oz. (85 g)
- Bảo vệ RF / EMI: tuân thủ CE
- Môi trường: Tuân thủ RoHS
1.4.5. Đầu đo Cathode nóng 
- Dải đo:
+ 1 x 10-9 đến 5 x 10-2 Torr 
+ 1.3 x 10-9 đến 6.7 x 10-2 mbar
+ 1.3 x 10-7 đến 6.7 Pa
- Độ chính xác - N2 (tiêu chuẩn): 1 x 10-8 to 5 x 10-2 Torr; ± 15% số đọc
- Độ lặp lại - (tiêu chuẩn): ± 5% số đọc
- Vật liệu tiếp xúc với khí: Filaments kép: yttria tráng iridi hoặc vonfram tùy chọn; Đầu thu kim loại: vonfram; Lưới: Thép không gỉ 304; Khác: 316/304 SS, thủy tinh, niken
- Độ nhạy: Được cài đặt sẵn tại nhà máy. Người dùng cũng có thể điều chỉnh từ 2 đến 99 (được đặt bởi B-RAX hoặc FlexRax)
- Giới hạn tia X: <5 x 10-10 Torr, <6.7 x 10-10 mbar, <6.7 x 10-8 Pa 
- Dòng phát xạ: 100 UA, 4 mA, hoặc chuyển đổi tự động giữa 100 uA và 4 mA
- Degas: 3 W, bắn phá điện tử
- Bảo vệ quá áp: Bộ đo được tự động tắt ở cài đặt mặc định của nhà máy là 5 x 10-2 Torr; B-RAX hoặc FlexRax cũng có thể được thiết lập để tự động bật / tắt bằng bộ đo đối lưu
- Trạng thái dây tóc: Trạng thái bật / tắt dây tóc được xác định bằng đèn LED trên IGM400 và cũng hiển thị thông báo và các tùy chọn giao diện người dùng có sẵn trên bộ điều khiển B-RAX và FlexRax
- Thể tích đồng hồ đo bên trong: 1,0 in3 (16,4 cm3)
- Nhiệt độ: hoạt động: 0 đến + 40 °C / lưu trữ: -40 đến +70 °C
- Nhiệt độ nung: 200 °C (chỉ cảm biến - loại bỏ thiết bị điện tử)
- Độ ẩm: 0 đến 95% độ ẩm tương đối, không ngưng tụ
- Trọng lượng: 0,6 lb. (0,27 kg) với mặt bích NW25 KF
- Vỏ (thiết bị điện tử): nhôm định hình
- Hướng lắp: bất kỳ
- Rơ le điểm đặt: rơ le có sẵn từ B-RAX hoặc FlexRax
- Tín hiệu đầu vào: tất cả các hoạt động của IGM400 được điều khiển từ B-RAX hoặc FlexRax
- Lựa chọn Filament: người dùng có thể lựa chọn giữa sợi 1 và 2 - tín hiệu lệnh được gửi từ B-RAX hoặc FlexRax
- Công suất đầu vào: được cung cấp bởi B-RAX hoặc FlexRax
- Đầu nối / cáp: Cụm đầu nối / cáp InstruTech để kết nối với B-RAX hoặc FlexRax
1.4.6. Van cổng ISO160 điều chỉnh bằng tay
- Chất liệu (thân, cổng, nắp ca-pô): 300 series ss
+ Xi lanh khí: Nhôm
+ Ống thổi: AM - 350
- Mặt bít:
+ Vòng bít nắp ca-pô: Metal / Viton
+ Gioăng cổng: Viton
- Điều chỉnh suy giảm : Bằng khí nén với áp lực 70 tới 100 psi
- Van điều khiển không khí: Loại bánh xe tay
- Tỷ lệ rò rỉ (thân, nắp capô Viton, phớt đĩa): 1 x 10 -9 mbar. l / s
1.5. Module điều khiển tốc độ dòng khí
1.5.1. Bộ điều khiển tốc độ dòng khí: Gồm 3 bộ riêng biệt, mỗi bộ điều khiển 1 loại khí chuyên dụng Ar, N2 và O2
+ Tính năng
- Chính xác
- Phản hồi điểm cài đặt nhanh
- Tốc độ 10 sccm tới 30 slpm N2
- Tín hiệu: 0 - 5VDC
- Làm từ vật liệu chống ăn mòn
+ Hiệu năng
- Toàn dải: 10 sccm tới 30 slpm N2
- Độ chính xác: ± 1.0% toàn dải
- Độ tuyến tính: ± 0.5% toàn dải
- Độ lặp lại: ± 0.2% toàn dải
+ Cơ khí
- Van điện từ normally - closed
- Vật liệu: Thép không gỉ 316 L, Thép không gỉ 446, PFA Teflon
+ Điện năng
- Nguồn cấp: ± 12 VDC tới ± 18 VDC
- Dòng cấp: 150 mA
- Công suất tiêu thụ: 3.3 W @ ± 15 V
- Tín hiệu điện đầu vào/đầu ra: 0 tới 5 VDC
1.5.2. Bộ đọc tín hiệu 4 kênh
Thông số kỹ thuật:
- Kích thước tổng thể: 241 x 88 x 200 mm (W x D x H)
- Khối lượng: Xấp xỉ 1.5 tới 2.0 kg (Phụ thuộc vào tùy chọn)
- Nguồn điện đầu vào: 195 tới 265 VAC tại 50/60 Hz
- Cầu chì: 250 VAC, 3A
- Công suất đầu ra: ± 15 VDC ± 5% tại 2.7 A
- Nhiệt độ vận hành: 0 – 50oC 
- Tín hiệu đầu vào: 0 tới 5.000 VDC cho MFC
- Cửa sổ màn hình hiển thị: Màn hình LCD với 128 x 64 điểm đồ họa
- Hiển thị 4 số cho MFC
1.6. Bộ điều nhiệt làm mát tuần hoàn
Thông số kỹ thuật
- Kích thước: 700 x 500 x 1.160 mm (W x L x H)
- Khối lượng: 85 kg
- Công suất đầu ra máy nén: 750 W
- Công suất tiêu thụ: 2.200 W
- Nguồn cấp: 220 V
- Công suất làm mát
- Công suất làm mát: 2.500 - 2.800 Kcal/ h
- Công suất đầu ra của bơm: 350 W
- Tốc độ dùng của bơm: 20 - 30 lít/ phút
- Dung tích thùng chứa nước: 30 lít
1.7. Máy nén khí 
Thông số kỹ thuật
- Kích thước: 300 x 530 x 520 mm (W x L x H)
- Khối lượng: 20,1 kg
- Công suất: 680 W
- Tốc độ dòng: 115 lít / phút
- Độ ồn: 50 dB
- Dung tích bình khí: 24 lít
- Nguồn cấp: 220 V
1.8. Bộ đo chiều dầy màng
Thông số kỹ thuật:
- Sensor đầu vào: Female BNC
- Dải tần số đo: 6.0 tới 5.0 MHz (cố định)
- Độ phân giải tần số: ±0.03 Hz tại 6 MHz
- Khoảng thời gian đo:  0.10 giây
- Độ phân giải  độ dầy hiển thị:  1 Å (Chỉ hiển thị trên phần mềm)
1.9. Bộ vật liệu phún xạ (target) chuyên dụng đi kèm.
- Cung cấp đông bộ và tương thích với hệ thiết bị
- Độ tinh khiết đảm bảo cho kỹ thuật phún xạ sputering
- Bao gồm các vật liệu sau đường kính 2 inches: Pt, Au, Ti, Cr, Zn, ZnO, AZO (Al doped ZnO), ITO