Hệ thống phún xạ magnetron DS2500/DADA KOREA

Hệ thống phún xạ catot tạo màng mỏng
Model: DS2500
Hãng sản xuất: DADA Korea Co., Ltd - Hàn Quốc
Xuất xứ: Hàn Quốc
Phạm vi cung cấp bao gồm
1.1. Buồng chân không
- Kích thước: Làm bằng vật liệu Inox 304 kích thước 328 x 340 (Đường kính x Chiều cao) (khoảng 28 lít)
- Cổng đế phủ vật liệu kích thước 8 inches
- Cổng kết nối bơm chân không ISO 160
- Cổng Cathode
- CF2.75'' Gauge, Extra Port
- Buồng chân không hình trụ nằm ngang với cửa quan sát phía trước
- Tấm bảo vệ chống nhiễm bẩn
- Cửa sổ nhìn qua đường kính 6 inches
- Cửa chặn của cửa sổ nhìn qua đường kính 6 inches
- Buồng chiếu sáng
1.2. Mô đun đế mẫu
- Bộ giữ đế mẫu 2 inches
- Đèn Halogen, tối đa 800^oC làm mát bằng nước
- Tốc độ quay: 0 tới 30 vòng/ phút
- Cửa chặn mẫu, điều khiển bằng khí nén
1.3. Mô đun nguồn
1.3.1. Nguồn xoay chiều 600 W
Thông số kỹ thuật
- Nguồn cấp: 220 V
- Công suất đầu ra: 600 W
- Điện trở đầu ra: 50 Ω
- Tần số: 2MHz, 4MHz, 13.56MHz, 27.12MHz và 40.68MHz
- Hiệu suất của nguồn RF: 70%
- Kết nối đầu ra: Kiểu N
- Chế độ nguồn cấp: SMPS
- Kiểu làm mát: Bằng không khí
1.3.2. Bộ phối hợp trở kháng tự động 600W
Thông số kỹ thuật
- Dải công suất RF: 0 tới 600 W
- Phương pháp matching: 2AVC
- Tần số: ± 2MHz, 4MHz, 13.56MHz, 27.12MHz và 40.68MHz
- Điện trở đầu ra: 50 Ω
- Dải tuning: 10 - 10.000 Ω
- Chế độ hoạt động:  Thủ công vầ Tự động điều chỉnh kỹ thuật số
- Kiểu làm mát: Bằng không khí
1.3.3. Nguồn 1 chiều 1.000 W dạng xung
Thông số kỹ thuật
+ Đầu vào
- Tần số: 47 tới 63 Hz
- Điện áp 220 VAC, 1 pha
- Dòng điện: 5.5 A
- Hiệu suất: 93% tại điện thế 220 VAC
+ Đầu ra
- Điện áp: 0 tới 1000 V
- Dòng: 0 tới 1 A
- Kiểu làm mát: Bằng không khí
1.3.4. Súng phún xạ Magnetron kích thước 2 inches và cửa chập
Thông số kỹ thuật
- Kiểu nam châm: Nam châm vĩnh cửu
- Kích thước bia: 2", 6.4t
- Kiểu làm mát: Bằng nước
- Nguồn: DC hoặc RF
- Nguồn kết nối đầu vào: Bộ kết nối kiểu N
1.4. Mô đun bơm chân không
1.4.1. Bơm phân tử tốc độ 400 lít/ giây
Thông số kỹ thuật:
- Đầu vào: ISO 160
- Đầu ra: NW25
- Tốc độ bơm: 685 lít/ giây @ N2
- Tốc độ quay: 49.200 vòng/ phút ± 2%
- Tốc độ quay biến thiên: 60% tới 100%
- Tỷ số nén cho Argon > 1 x 1011
- Độ chân không đạt được according to PNEUROP < 7.5 x 10-8 Torr 
1.4.2. Bơm quay (Rotary pump)
Thông số kỹ thuật:
- Tốc độ bơm: 341 lít/ phút tại 50 Hz
          408 lít/ phút tại 60 Hz
- Áp lực cuối cùng: 5 x 10-4 Torr
- Công suất: 0.75 kw
- Nguồn điện: 3 Pha,380 Vac
- Dung tích dầu: 1.2 tới 1.7 lít
- Làm mát bằng không khí
- Khối lượng: 34 kg
1.4.3. Áp kế Cathode lạnh
Thông số kỹ thuật:
- Dải áp suất: 10-2 tới 10-9 mbar
- Độ chính xác: Thông thường ±30%
- Quá áp tối đa: Tuyệt đối 10 bar
- Nguồn cấp: +13.5 tới +36V DC (max 1 V ripple)
- Công suất tiêu thụ: Tối đa  2 W
- Tín hiệu đầu ra: Từ 2 tới 10 VDC
- Điện áp đầu ra tối đa: 40 VDC
- Dòng: Tối đa 100 mA
- Nhiệt độ hoạt động: Từ 5oC tới 60oC
- Khối lượng: 0.81 kg
1.4.4. Áp kế pirani
Thông số kỹ thuật:
- Dải đo: Áp suất khí quyển tới 10-3 mbar
- Độ chính xác:  Thông thường ±15% tại <100 mbar
- Quá áp tối đa: Tuyệt đối 10 bar
- Nhiệt độ hoạt động: Từ 5oC tới 60oC
- Nguồn cấp: 15 tới 30 VDC
- Công suất tiêu thụ: 1 W
1.5. Module điều khiển tốc độ dòng khí
1.5.1. Bộ điều khiển tốc độ dòng khí
+ Tính năng
- Chính xác
- Phản hồi điểm cài đặt nhanh
- Tốc độ 10 sccm tới 30 slpm N2
- Tín hiệu: 0 - 5VDC
- làm từ vật liệu chống ăn mòn
+ Hiệu năng
- Toàn dải: 10 sccm tới 30 slpm N2
- Độ chính xác: ± 1.0% toàn dải
- Độ tuyến tính: ± 0.5% toàn dải
- Độ lặp lại: ± 0.2% toàn dải
+ Cơ khí
- Van điện từ normally - closed
- Vật liệu: Thép không gỉ 316 L, Thép không gỉ 446, PFA Teflon
+ Điện năng
- Nguồn cấp: ± 12 VDC tới 18 VDC
- Dòng cấp: 150 mA
- Công suất tiêu thụ: 3.3 W
- Nguồn điện: 0 tới 5 VDC
1.5.2. Bộ đọc tín hiệu 4 kênh
Thông số kỹ thuật:
- Kích thước tổng thể: 241 x 88 x 200 mm (W x D x H)
- Khối lượng: Xấp xỉ 1.5 tới 2.0 kg (Phụ thuộc vào tùy chọn)
- Nguồn điện đầu vào: 195 tới 265 VAC tại 50/60 Hz
- Cầu chì: 250 VAC, 3A
- Công suất đầu ra: ± 15 VDC ± 5% tại 2.7 A
- Tín hiệu đầu vào:  0 tới 5.000 VDC cho MFC
- Cửa sổ màn hình hiển thị: Màn hình LCD với 128 x 64 điểm đồ họa
- Hiển thị 4 số cho MFC
1.6. Bộ điều nhiệt làm mát tuần hoàn
Thông số kỹ thuật
- Kích thước: 700 x 500 x 1.160 mm (W x L x H)
- Khối lượng: 85 kg
- Công suất đầu ra máy nén: 750 W
- Công suất tiêu thụ: 2.200 W
- Nguồn cấp: 220 V
- Công suất làm mát
- Công suất làm mát: 2.500 - 2.800 Kcal/ h
- Công suất đầu ra của bơm: 350 W
- Tốc độ dùng của bơm: 20 - 30 lít/ phút
- Dung tích thùng chứa nước: 30 lít
1.7. Máy nén khí 
Thông số kỹ thuật
- Kích thước: 300 x 530 x 520 mm (W x L x H)
- Khối lượng: 20,1 kg
- Công suất: 680 W
- Tốc độ dòng: 115 lít / phút
- Độ ồn: 50 dB
- Dung tích bình khí: 24 lít
- Nguồn cấp: 220 V
1.8. Bộ vật liệu phún xạ (target) chuyên dụng đi kèm.
- Cung cấp đông bộ và tương thích với hệ thiết bị
- Độ tinh khiết đảm bảo cho kỹ thuật phún xạ sputering
- Bao gồm các vật liệu sau đường kính 2 inches
+ Ti, 4N5
+ Cr, 3N5
+ TiN, 2N5
+ CrN, 2N5
+ TiAl(50%/50at%) 2N5
+ TiAl/TiN(50%/50at%) 2N5
+ TiC 2N5
+ Bonding to copper plate by using Indium (Nitride targets need bond to copper plate)
1.9. Bộ phụ kiện để lắp đặt thiết bị bao gồm:
- Van cổng ISO 160
- Van góc NW25
- Dây nối chân không và kẹp
- Van xả buồng
- Van xả quay
- Van khí 1/4 inch Lok
- Đường ống khí và đầu nối
- Cáp kết nối