Thiết bị phún xạ tạo màng cho mẫu SEM - Smart Coater/JEOL
JEOL Smart Coater là một máy phun phún xạ hoàn toàn tự động áp dụng một lớp phủ vàng hoặc bạch kim (tùy chọn) hạt mịn trên các mẫu để tạo ảnh trong kính hiển vi điện tử quét.
Thiết bị phún xạ dễ dàng để sử dụng có tính năng hút chân không và phún xạ hoàn toàn tự động. Đưa mẫu vào, bật thiết bị và chọn thời gian phún xạ. Buồng sẽ hút chân không và hiện tượng phún xạ sẽ tự động bắt đầu. Khi thiết bị bị tắt nguồn, thiết bị sẽ xả chân không
.
Áp suất: ~ 4Pa
Kích thước buồng: 86mm (d) x 100mm (h); thủy tinh
Kích thước bia * Au: 49,5mm (d) x 0,1mm (t)
Điện cực bia: 20mm (d)
Kích thước bệ mẫu: 70mm (d)
Thời gian phún xạ: 0,5 phút / 1 phút / 2 phút (Cố định)