Quay lại Bản in Yahoo
Cỡ chữ

Kính hiển vi phát điện tử quét phân giải siêu cao (FESEM) 7100F

Mã sản phẩm: JSM 7100F

Mô tả sản phẩm:

Kính hiển vi điện tử quét độ phân giải siêu cao JSM 7100F trang bị rất nhiều đặc điểm tiên tiến và khả năng phân tích phù hợp với yêu cầu đặc biệt của mỗi loại mẫu.Kính được thiết kế với hai thấu kính cuối cùng, công nghệ giảm tốc chùm tia và công nghệ chân không thấp.

- Kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường Schottky phân giải siêu cao ở cả điện thế cao hay thấp.
 - Kính hiển vi JSM 7100 F cho độ phân giải cao ở chế độ chân không thấp. 
 - Kính được thiết kế với hai thấu kính cuối cùng, công nghệ giảm tốc chùm tia và công nghệ chân không thấp.
 - Kính JSM 7100F trang bị rất nhiều đặc điểm tiên tiến và khả năng phân tích phù hợp với yêu cầu đặc biệt của mỗi loại mẫu.
 -Chức năng giảm tốc chùm tia cho độ siêu tương phản tại thế thấp và độ nhạy cao khi quan sát bề mặt. 
 - Độ tương phản siêu cao và thông tin thành phần đạt được nhờ đầu dò tán xạ ngược điện tử (Backscattered Electrons, BSE) thế hệ mới ở ngay điện thế thấp.
 - Thấu kính hai bước điện từ được nhúng (immersion) trong hệ quang điện tử kết hợp với các công nghệ chân không thấp, phân giải siêu cao, chân không thấp, loại bỏ tích điện bề mặt với mẫu không dẫn điện (vật liệu, các thiết bị, phụ kiện lắp ráp nano,…).
 - Hình ảnh rõ và tương phản cao đạt được tại chân không thấp với cả những mẫu mà bề mặt vẫn còn nhiễm bẩn.
 - Kính JSM 7100F cũng cung cấp cùng với bệ mẫu các công cụ cho chế độ thiết kế mẫu mức nano nanoprototyping bao gồm bộ tạo mẫu khắc và phần mềm chuyên dụng, chức năng làm trắng chùm tia nhanh (Deben electrostatic beam blaker) và GIS (gas injection systems –nâng cấp gồm: các chất cho bốc bay như các bon, platin, tungsten, oxits silic và các chất để khắc như F, I, O) tốc độ cao cho khắc trực tiếp bởi chùm tia electron hoặc khí trên cấu trúc nano.
 - Buồng mẫu được trang bị với nhiều cổng có khả năng lắp ghép rất nhiều các thiết bị, chức năng ngoại vi cho nghiên cứu đặc điểm, phân tích và nanoprototyping ở mức độ nano.

1. Độ phóng đại:
 - Độ phóng đại: 1.000.000 lần ( 1 triệu lần)
 - Hiệu chỉnh độ phóng đại: tự động đối với thế gia tốc và khoảng cách làm việc. 
 -  Đặt độ phóng đại  tức thời trong toàn dải cho phép
 - Hiệu chỉnh quay hình ảnh: trên mỗi mode EOS tại mỗi khoảng cách làm việc.
 - Các dạng ảnh thu được:
 + Ảnh điện tử thứ cấp (SEI)
 + Ảnh điện tử tán xạ ngược (BEI)/ Composition (ảnh thành phần) / Topography (ảnh hình học) 
2. Độ phân giải: 
Chân không cao tại khoảng cách làm việc tối ưu:
  ≤ 0.8 nm tại thế 30 kV (khi sử dụng đầu thu STEM)
1.4 nm tại thế 15 kV (khi sử dụng đầu thu Secondary Electrons, SE)
3.0 nm tại thế 1 kV (khi sử dụng đầu thu SE không cần giảm tốc chùm tia và tích hợp buồng mẫu thiết bị làm sạch plasma)
3.0 nm tại thế 100 V (khi sử dụng đầu thu tán xạ ngược  Retracable RBEI)
1.2 nm tại thế 30 kV (sử dụng đầu thu SE), là tính năng ưu việt vượt trội của thiết bị
Chân không cao tại khoảng cách phân tích
3.0 nm tại thế 15 kV và dòng 5 nA (khi sử dụng đầu thu SE)
Chân không thấp (10-4) tại khoảng cách làm việc tối ưu:
1.5 nm tại 10kV 
1.8 nm tại 3kV
3.0 nm tại 30 KV
khi sử dụng đầu thu Secondary Electron Detector. 
Tính năng ưu việt vượt trội:
3. Dải tiêu cự: 
Dạng thấu kính từ (magnetic lens): 1 mm đến 60 mm hoặc rộng hơn
Dạng nhúng chìm (immersion lens): 1 mm đến 7 mm (1 kV) hoặc rộng hơn
4. Hệ thống quét:
Hệ thống quét kỹ thuật số phân giải cao được điều khiển từ giao diện sử dụng:
 - Độ phân giải quét tối đa: 5120 x 3840 pixel (~ 20Mp)
 - Độ phân giải lựa chọn: 1280 x 960; 2560 x 1920 và 5120 x 3840 điểm ảnh
 - Thời gian quét tối thiểu: từ 0.213 ms đến trên 1ms trên một  điểm ảnh
 - Quét điện tử cho phép xoay liên tục 360o, không giới hạn số lần (nx360)
 - Chức năng quét nhanh được sử dụng để giảm độ nhiễu xuống mức tối thiểu
 - Chức năng quét nhanh tăng cường độ tương phản và làm giảm độ nhiễu
 - Chức năng hiệu chỉnh độ trôi khi hình ảnh không ổn định trong suốt quá trình quét.
5. Hệ quang điện tử:
 - Dạng súng: súng phát xạ trường FEG Schottky với độ siêu sáng, tính ổn định cao và có cường độ dòng cao
 - Bộ phát xạ: ZrO tungsten cathode.
Tính năng ưu việt vượt trội:
 - Căn chỉnh: lệch hướng cơ học và điện từ
 - Hoàn toàn tự động, dễ dàng tìm chế độ tối ưu
Nguồn phát: FEG Schottky độ sáng cực cao, tuổi thọ đảm bảo 36 tháng. Sau thời gian bảo hành, nhà thầu chúng tôi sẽ cung cấp và tiến hành thay sợi đốt một lần.
 - Vùng điện thế hoạt động: 0.2 kV - 30 kV; điều chỉnh liên tục, GBL mode. 
Giảm tốc chùm tia: 10V đến 30kV, điều chỉnh liên tục
Giá trị thế hiệu dịch:  50V đến  4kV
 - Dòng dò: 10-12 ( 1pA) tới 2x10-7 A ( 200 nA) ; điều chỉnh liên tục
Các tính năng ưu việt vượt trội:
 - Chức năng loại bỏ hiện tượng trễ cho các vật kính điện từ (OL) và thấu kính điện từ (CL).
 - Tự động hội tụ, tương thích với thế gia tốc.
 - Hiệu chỉnh độ phóng đại tự động: thay đổi theo thế gia tốc và/hoặc khoảng cách 
 - Hiệu chỉnh độ quay tự động: Thay đổi theo khoảng cách và/hoặc mode quang điện tử (EOS)  
 - Khẩu độ vật kính: chỉnh tinh vị trí  theo trục X/Y
 - Wobbler: theo độ mở vật kính và căn chỉnh loạn thị. 
 - Có thể tự động căn chỉnh loạn thị hoặc chỉnh bằng tay
 - Tiêu cự động: hiệu chỉnh nghiêng mẫu, kết nối với thế gia tốc, khoảng cách-WD
 - Cuộn quét: lệch điện từ 2 giai đoạn
 - Điều khiển quay khi quét: hiệu chỉnh theo WD và EOS mode
 -  Tay gạt chỉnh hình ảnh: +/- 10um theo trục X, Y (mode HR , WD 15 mm)
 - Chức năng cài đặt trước bộ nhớ: sắp xếp và căn chỉnh theo thế thứ cấp và WD
 - Người sử dụng có thể: đặt password cho mỗi file, điều kiện quan sát, số liệu hình ảnh, vị trí lưu file hình ảnh, format file ảnh lưu ...
 - Chức năng recipe: cho phép lưu và tải lại các điều kiện quan sát chuẩn, điều kiện quan sát riêng và đặc biệt đối với mỗi mẫu: 
 + Điện thế thứ cấp, Mode quan sát điện áp thứ cấp (SEM, GB, LM), cường độ dòng, focus setting, focal depth, độ phóng đại cài đặt, độ sáng/tối cài đặt, tín hiệu vào (SEI, TOPO, COMP, AUX), vị trí bệ mẫu(X, Y, Z)… 
 + Hiển thị hình ảnh ở các điều kiện quan sát đã ghi nhận.


Kính hiển vi điện tử quét SEM do có ưu điểm phân tích không phá hủy mẫu nên được sử dụng trong các lĩnh vực sau:
- Công nghệ sinh học
- Khoa học vật liệu
- Công nghệ bán dẫn
- Công nghệ nano...
Phụ trách KD
024.3783.5114
Phụ trách hóa chất
0912.007.328
Hỗ trợ kỹ thuật
024.3562.3670
Hotline
0905.653.866